許爽博士與國內外科研院所廣泛合作，組建了一支由測控、機械等學(xué)科交叉的研究團隊。專(zhuān)門(mén)研發(fā)光源表 征、掩膜優(yōu)化、投影物鏡像差檢測、光機優(yōu)化設計及集成、工具性軟件發(fā)開(kāi)、成套解決方案設計等核心技術(shù)，目 前掌握了光刻成像分析、像差檢測分析、晶圓缺陷檢測系統、光源及掩模版優(yōu)化設計等關(guān)鍵技術(shù)。團隊成員主持 了包括國家自然科學(xué)基金、湖北省自然科學(xué)基金、湖北省教育廳科研計劃項目等基金項目，多項企業(yè)委托研發(fā)項 目，發(fā)表相關(guān)SCI/EI論文20余篇。擁有多項中國發(fā)明專(zhuān)利
