該成果基于偏振激光散射理論，通過(guò)高速激光線(xiàn)掃描技術(shù)結合自動(dòng)對焦顯微成像技術(shù)實(shí)現對超光滑光學(xué)表面（如玻璃、晶圓等）亞微米量級微觀(guān)缺陷（如麻點(diǎn)、劃痕、表面發(fā)霧和污漬等）的快速無(wú)損檢測，尤其適用于大口徑光學(xué)表面的微缺陷檢測。該成果的缺陷檢測靈敏度優(yōu)于0.5 μm，檢測效率大于480 mm2/s，可以實(shí)現被測表面缺陷的快速定位和自動(dòng)顯微成像，輸出表面缺陷尺寸、數量和類(lèi)型的統計信息，為超光滑表面元件的加工質(zhì)量提供可靠的反饋，有助于提高元件的制作工藝。該技術(shù)目前已用于中科院上海光機所激光核聚變項目中。
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超光滑表面激光散射微缺陷檢測
類(lèi)型：專(zhuān)利成熟度：通過(guò)中試專(zhuān)利號/型號：交易方式：完全轉讓簡(jiǎn)介： 該成果基于偏振激光散射理論，通過(guò)高速激光線(xiàn)掃描技術(shù)結合自動(dòng)對焦顯微成像技術(shù)實(shí)現對超光滑光學(xué)表面（如玻璃、晶圓等）亞微米量級微觀(guān)缺陷（如麻點(diǎn)、劃痕、表面發(fā)霧和污漬等）的快速無(wú)損檢測，尤其適用于大口徑光學(xué)表面的微缺陷檢測。 -
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